国产A三级久久精品,国产精品成人99一区无码,人妻少妇无码中文幕久久,女人被狂躁到高潮视频免费软件,蜜芽国产尤物AV尤物在线看,国产AV老师丝袜美腿丝袜,国产乱码一二三区精品,婷婷久久综合九色综合绿巨人 ,午夜福利视频合集1000,久久综合给合久久狠狠狠97色

<bdo id="jwu5h"></bdo>
<rt id="jwu5h"></rt>
  • <i id="jwu5h"><abbr id="jwu5h"><blockquote id="jwu5h"></blockquote></abbr></i>
    <rt id="jwu5h"></rt>
  • <rt id="jwu5h"></rt>

      濺射靶材簡介

      更新時間:2015-12-16 14:48:20    來源:互聯(lián)網(wǎng)

      簡單說的話,靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時,會產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應(yīng)。例如:蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜...鋁膜等。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
      靶材的種類
        1. 金屬靶材
        鎳靶、Ni、鈦靶、Ti、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、鈮靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁硅靶、AlSi、硅靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鈰靶、Ce、鎢靶、w、不銹鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等。
        2. 陶瓷靶材
        ITO靶、氧化鎂靶、氧化鐵靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化鈦靶、氧化鉻靶、氧化鋅靶、硫化鋅靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化鈰靶、二氧化鋯靶、五氧化二鈮靶、二氧化鈦靶、二氧化鋯靶,、二氧化鉿靶,二硼化鈦靶,二硼化鋯靶,三氧化鎢靶,三氧化二鋁靶五氧化二鉭,五氧化二鈮靶、氟化鎂靶、氟化釔靶、硒化鋅靶、氮化鋁靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化鈦靶,碳化硅靶,鈮酸鋰靶、鈦酸鐠靶、鈦酸鋇靶、鈦酸鑭靶、氧化鎳靶、濺射靶材等。
        3.合金靶材
        鐵鈷靶FeCo、鋁硅靶AlSi、鈦硅靶TiSi、鉻硅靶CrSi、鋅鋁靶ZnAl、鈦鋅靶材TiZn、鈦鋁靶TiAl、鈦鋯靶TiZr、鈦硅靶TiSi、 鈦鎳靶TiNi、鎳鉻靶NiCr、鎳鋁靶NiAl、鎳釩靶NiV、鎳鐵靶NiFe等……
        各種類型 的濺射薄膜材料 在半導體集成 電路 (VLSI ) 、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等 方面都到了,泛的應(yīng)用。2 0世紀 9 0年代 以來,濺 射靶材及濺射技術(shù)的同步發(fā)展,極大地滿足了各種新 型電子元器件發(fā)展的需求。例如,在半導體集成電路 制造 I : 藝過程中,以電阻率較低的銅導體薄膜代替鋁 膜布線:在平面顯示器產(chǎn)業(yè)中,各種顯示技術(shù) ( 如LCD、P DP 、OLED及FED等)的同步發(fā)展,有的已 經(jīng)用于電腦及計算機的顯示器制造;在信息存儲產(chǎn)業(yè) 中,磁性存儲器的存儲容量不斷增加,新的磁光記錄 材料不斷推陳出新 這些都對所需濺射靶材的質(zhì)量提 出了越來越高的要求,需求數(shù)量也逐年增加。
        全球靶材的市場概況
        目前全球各主要靶材制造商的總部,大多設(shè)立在 美國、德國和日本。就美國而言.約有50家中小規(guī)
        模的靶材制造商及經(jīng)銷商,其中最大的公司員工大約有幾百人。不過為了能更接近使用者,以便提供更完
        善的售后服務(wù),全球主要靶材制造商通常會在客戶所 在地設(shè)立分公司。最近 ,亞洲的一些國家和地區(qū),如
        臺灣.韓國和新加坡,就建立了越來越多制造薄膜元件或產(chǎn)品的工廠,如 I c、液晶顯示器及光碟制造廠。
        對靶材廠商而言,這是相當重要的新興市場。中國靶材產(chǎn)業(yè)發(fā)展也是與日俱增,不斷的擴大自己的規(guī)模和生產(chǎn)技術(shù),國內(nèi)一線生產(chǎn)制造靶材的品牌已經(jīng)很達到了國外最頂尖的技術(shù)。例如,與中科院“863”計劃,“973”計劃合作的泛德辰。寧波江豐的集成電路用濺射達到了國內(nèi)第一的使用領(lǐng)域。去年,日本三菱公司就在我國臺灣地區(qū)建立了光碟塒靶材的 生產(chǎn)基地,可以滿足臺灣 5 0 %的靶材需要。
       
        BCC( Business Communications Company ,商業(yè)咨詢公司)最新的統(tǒng)計報告指出,全球靶材市場將以 8 .8 %的年平均增長率( A AGR ) 在今后的 5年內(nèi)持續(xù)增 長, 估計銷售額將從 1 9 9 9年的 7 . 2億美元增加到 2 0 0 4 年的 1 1 億美元 。 靶材是一種具有高附加價值的特種電子材料,主要使用在微電子,顯示器,存儲器 以及光學鍍膜等產(chǎn) 業(yè)上,用以濺射用于尖端技術(shù)的各種薄膜材料。BCC的報告顯示:全球的上述產(chǎn)業(yè)在 1 9 9 9年使用了2 . 8 8百萬公斤靶材。換算為面積,則濺射了 3 6 3百萬平方米的薄膜。而若以單位靶材來計算,全 球在 1 9 9 9年則大約使用了3 7 4 0 0 0單位的靶材。這里 所要指出的是,隨著應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的不同,靶材的形狀與 大小也有所差異,其直徑從 1 5 G m到 3m都有,而上述的統(tǒng)計資料,則是平均化后的結(jié)果。
       
        磁控濺射靶材
        1)磁控濺射原理:
        在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場,在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),永久磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場,同高壓電場組成正交電磁場。在電場的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負高壓,從靶極發(fā)出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率增大,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來的原子遵循動量轉(zhuǎn)換原理以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。 磁控濺射一般分為二種:支流濺射和射頻濺射,其中支流濺射設(shè)備原理簡單,在濺射金屬時,其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更為廣泛,除可濺射導電材料外,也可濺射非導電的材料,同時還司進行反應(yīng)濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射,目前常用的有電子回旋共振(ECR)型微波等離子體濺射。
        2)磁控濺射靶材種類:
        金屬濺射鍍膜靶材,合金濺射鍍膜靶材,陶瓷濺射鍍膜靶材,硼化物陶瓷濺射靶材,碳化物陶瓷濺射靶材,氟化物陶瓷濺射靶材 ,氮化物陶瓷濺射靶材 ,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷濺射靶材 ,硅化物陶瓷濺射靶材 ,硫化物陶瓷濺射靶材 ,碲化物陶瓷濺射靶材 ,其他陶瓷靶材,摻鉻一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化銦靶材(InP),砷化鉛靶材(PbAs),砷化銦靶材(InAs)。
      編輯本段應(yīng)用領(lǐng)域
        眾所周知,靶材材料的技術(shù)發(fā)展趨勢與下游應(yīng)用 產(chǎn)業(yè)的薄膜技術(shù)發(fā)展趨勢息息相關(guān),隨著應(yīng)用產(chǎn)業(yè)在
        薄膜產(chǎn)品或元件上的技術(shù)改進,靶材技術(shù)也應(yīng)隨之變 化。如Ic制造商.最近致力于低電阻率銅布線的開發(fā), 預(yù)計未來幾年將大幅度取代原來的鋁膜,這樣銅靶及其所需阻擋層靶材的開發(fā)將刻不容緩。另外,近 年來平面顯示器( F P D)大幅度取代原 以陰極射線管(CRT )為主的屯腦顯示器及電視機市場.亦將人幅增 加ITO靶材的技術(shù)與市場需求。 此外在存儲技術(shù)方面。高密度、大容量硬盤,高密度的可擦寫光盤的需求持 續(xù)增加. 這些均導致應(yīng)用產(chǎn)業(yè)對靶材的需求發(fā)生變化。下面我們將分別介紹靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域,以及這些領(lǐng)域靶材發(fā)展的趨勢。
      2.1微電子領(lǐng)域
        在所有應(yīng)用產(chǎn)業(yè)中,半導體產(chǎn)業(yè)對靶材 I 濺射薄 膜的品質(zhì)要求是晟苛刻的。現(xiàn)在 l 2英寸 ( 3 0 0衄 口 )的 硅劂晶片已制造出來.而互連線的寬度卻在減小。硅 片制造商對靶材的要求是大尺寸、高純度、低偏析和 細晶粒, 這就要求所制造的靶材具有更好的微觀結(jié)構(gòu).靶材的結(jié)晶粒子直徑和均勻性 已被認為是影響薄膜沉 積率的關(guān)鍵因素。另外,薄膜的純度與靶材的純度關(guān) 系極大,過去99.995 %( 4 N5 ) 純度的銅靶,或許能夠滿 足半導體廠商0.3 5pm 工藝的需求,但是卻無法滿 足 目前0.2 5um的工藝要求, 而未米的 0.18um }藝甚至0.13m工藝,所需要的靶材純度將要求達 到5甚至 6N以上。銅與鋁相比較,銅具有更高的抗電遷移能力及更 低的電阻率,能夠滿足! 導體工藝在0 .25um 以下 的亞微米布線的需要但卻帶米了其他的問題:銅與 有機介質(zhì)材料的附著強度低.并且容易發(fā)生反應(yīng),導 致在使過程中芯片的銅互連線被腐蝕而斷路。為了解決以上這些問題,需要在銅與介質(zhì)層之間設(shè)置阻擋 層。阻擋層材料一般采用高熔點、高電阻率的金屬及其化合物,因此要求阻擋層厚度小于50n m,與銅及介質(zhì)材料的附著性能良好。銅互連和鋁互連的阻擋層 材料是不同的.需要研制新的靶材材料。銅互連的阻 擋層用靶材包括 T a 、W、T a S i 、WS i 等 .但是T a 、W 都是難熔金屬.制各相對困難,現(xiàn)在正在研究鉬、鉻 等的臺金作為替代材料。
      2.2平面顯示器用靶材
        平面顯示器( FPD) 近年來大幅沖 以陰極射線管 (CRT) 為主的電腦顯示器及電視機市場,亦將帶動ITO靶材的技術(shù)與市場需求?,F(xiàn)在的1 T O靶材有兩種.一 種是采用納米狀態(tài)的氧化銦和氧化錫粉混合后燒結(jié),一種是采用銦錫合金靶材。銦錫臺金靶材可以采用 直流反應(yīng)濺射制造 1 T O薄膜,但是靶表面會氧化而影 響濺射率,并且不易得到大尺寸的臺金靶材。 現(xiàn)在一般采剛第一種方法生產(chǎn) I T O 靶材,利, L } I R F反應(yīng)濺射鍍膜. 它具有沉積速度快.且能精確控制膜厚,電導率高,薄膜的一致性好,與基板的附著力強等優(yōu)點 l 。但是靶材制作困難,這是因為氧化銦和 氧化錫不容易燒結(jié)在一起。一般采用 Z r O2 、B i 2 O 3 、 C e O 等作為燒結(jié)添加劑,能夠獲得密度為理論值的 9 3 %~9 8 %的靶材,這種方式形成的 I T O薄膜的性能 與添加劑的關(guān)系極人。日本的科學家采用 B i z o 作為 添加劑,B i 2 O3 在 8 2 0 C r 熔化,在 l 5 0 0℃的燒結(jié)
        溫度 人部分已經(jīng)揮發(fā),這樣能夠在液相燒結(jié)條件下 得到比較純的 I T O靶材。而且所需要的氧化物原料也 不一定是納米顆粒,這樣可以簡化前期的工序。采川 這樣的靶材得到的 I T O 薄膜的屯阻率達到 8 . 1 ×1 0 n- c m,接近純的 I T O薄膜 的電阻率 。 F P D和導電玻璃的尺寸都相當火,導電玻璃的寬 度甚至可以達到 3 1 3 3 _ ,為了提高靶材的利用率,開發(fā) 了不同形狀的I T O靶材,如圓柱形等。2 0 0 0年,國家 發(fā)展計劃委員會、科學技術(shù)部在 《 當前優(yōu)先發(fā)展的信 息產(chǎn)業(yè)重點領(lǐng)域指南》中, I T O大型靶材也列入其中。 廣 柳州華錫公司和寧夏九0五集團已完成了ⅡD靶材的研究工作 ,即將投入生產(chǎn) 。
      2. 3存儲技術(shù)用靶材
       
        在儲存技術(shù)方面,高密度、大容量硬盤的發(fā)展,需要人鼉的巨磁阻薄膜材料,CoF ~Cu多層復(fù)合膜是 現(xiàn)在應(yīng)朋展廣泛的巨磁阻薄膜結(jié)構(gòu)。磁光盤需要的 T b F e C o合金靶材還在進一步發(fā)展,用它制造的磁光 盤具有存儲容量大,壽命長,可反復(fù)無接觸擦寫的特 點?,F(xiàn)在開發(fā)山來的磁光盤,具有 T b F e C o / T a和 T b F e C o / Al 的 層復(fù)臺膜結(jié)構(gòu), T bF eCo/AI結(jié)構(gòu)的Kerr 旋轉(zhuǎn)角達到5 8,而T b F e Co f F a 則可以接近0.8。經(jīng)過研究發(fā)現(xiàn), 低磁導率的靶材高交流局部放電電壓 l 抗電強度。
       
      國內(nèi)知名濺射靶材制造商:寶雞宏遠特種金屬材料有限公司,專業(yè)提供各種金屬濺射靶材及各類金屬合金材料。
       
       
       
       
       
      鈦管/鈦板/鈦棒/鈦合金棒/鈦制造商/鈦設(shè)備/鈦靶/鈦合金/鈦工藝品/鈦材料的專業(yè)生產(chǎn)制造商----寶雞宏遠金屬
       
      電話:0917--6818169
       
      傳真:0917--3809198
       
      13892765757   18609171863  13109173646
      ? ?

      Tell your friends

      版權(quán)所有 © 2015 寶雞宏遠特種金屬材料有限公司

      亚洲国产成人久久综合一区77 | 日韩人妻精品中文字幕| 尤物视频网页在线观看| 国模少妇一区二区三区| 精品久久99国产精品| 午夜无码人妻AV大片色欲| 日韩中文在线视频一区| 精品一区二区免费视频| 久久久成人综合亚洲欧洲精品| 人妻少妇被猛烈进入中文| 亚洲午夜精品少妇潮喷| 大屁股熟女一区二区三区| 日韩香蕉在线观看视频| 久久精品国产剧情av| 国产精品久久av观看| 蜜桃av多人一区二区三区| 亚洲精品国产精品乱码不99| 日韩在线观看精品亚洲| 午夜福利高清在线观看| 欧美黑人欧美精品刺激| 91免费一级特黄色片子| 亚洲无限乱码一区二区| 亚洲成人av手机免费观看| 一亚洲一区二区中文字幕| 日韩午夜福利理论片5.7主演| 新的哥哥中文字幕一区二区| 丰满熟女人妻一区二区| 亚洲国产一区在线播放| 亚洲啊女视频在线观看| 日本精品一级二级三级| 色妞精品av一区二区三区| 少妇无套内射中出视频| 中文字幕一区视频播放| 亚洲已满18点击进入在线看片 | 15小男生Gay自慰| 精品三级av在线免费观| 日本一区二区三区在线 观看网站 国产精品蜜臀av免费观看四虎 | 岛国高清av免费观看| 久久精品无码精品免费专区| 亚洲精品熟女一区二区| 无套内谢少妇毛片在线|